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  SUSS MicroTec在日本继续推进三维集成业务

  SUSS MicroTec是半导体业界创新工艺和测试方案提供商。SUSS MicroTec向日本发运了一台LithoPack300光刻一体机,用于三维集成技术,并已成功安装。该一体机拥有涂胶、烘烤、、显影模块,可用于最大直径为300毫米的晶圆片。对于难度较高的TSV硅通孔生产和三维集成的背面RDL再布线层,该一体机是一个高性价比的解决方案,再加上永久和临时晶圆片键合,SUSS MicroTec可以提供一整套的工艺和技术方案,用于三维集成。SUSS MicroTec近期参与了一系列三维集成工艺的

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  SUSS MicroTec联合iX-ctory微流体和集成光学MEMS方案

  据半导体报道,SUSS MicroTeci与X-ctory共同宣布,将在微流体和集成光学应用方面密切合作。iX-ctory相关技术,程潇身材SUSS MicroTec提供设备,如其新推出的/BA8 Gen3双面光刻机和CB8晶片键合机。iX-ctory是领先的单晶片生产和技术服务的专业厂商。程潇身材 SUSS Micr

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